用于半导体领域300/200mm FOUP标准SEMI载具的自动化存储
可实现与OHT E84自动对接，兼容人工上下料
SEMIE88(Stocker SEM) Standard与MES上层对接
可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理
模块化设计，可根据客户储量节拍要求快速开发