| 适用于半导体生产工厂的无尘室，立体自动搬运流水线 用于电梯往返搬运物品的垂直搬运系统 通过与各种运输机组装成系统，大幅度地提高作业效率 |
跨楼层循环式搬送设备 Loop Carry
升降机 Lifter
| 主要作用是将硅晶圆跨楼层传送，Lifter的优点在于它可以通过自动化方式快速、高效地执行这些任务。这有助于减少人工操作的需求，提高生产线的效率，并减少生产过程中的误差。 |
天车 OHT
| 自动化搬送装置，可在空中轨道上行驶，能够通过皮带传动起重机构“直接”进入装卸口。满⾜SEMI标准，与上层系统实现数据交互 使用非接触式供电，满足洁净车间内的洁净需求，洁净等级可满足ISO Class5 |